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- 产品描述
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技术特点
●支持轴向进给(In- Feed)磨削原理;
●可选配单测头式测量仪和双测头式测量仪;
●可带框架磨削异形片，设备最大可对应8英寸的框架;
●双轴三承片台结构，粗磨精磨磨削同时进行，加工效率大幅度提高;
●粗磨精磨轨迹统一，提高加工质量稳定性。
性能指标自动减薄机
GR-8500
最大加工物尺寸
Φ200mm
主轴
主轴数量
2
输出功率
4.2/5.5KW
转速
1000-6000rpm
Z轴
行程
120mm
进给速度
0.00001~0.08mm/s
最大返回速度
50mm/s
分辨率
0.1pm
承片台数量
3
工作台转速
0-300rpm
减薄精度
片内厚度偏差
<3μm
片间厚度偏差
<±3μm
表面粗糙度Ra
<0.2μm （2000#Grinding wheel, Si）
测量仪
测量范围
0-1800μm （选配）
分辨率
0.1μm （选配）
重复精度
±0.5μm （选配）
其他规格
外形尺寸(WxDxH)
1200mmx1800mmx1910mm
设备重量
≈3300 kg
