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- 产品描述
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技术特点
●同时支持深切缓进给(Creep- -Feed)和轴向进给(In- Feed)磨削原理;
●可选配全自动上下料系统，设备可由自动减薄设备变为全自动减薄设备;
●GPP行业应用优势明显;
●高加工效率，4英寸GPP用硅晶圆UPH可达360pcs/h;
●节省空间的设计，占地面积仅为1.01m,兼顾小型化及高性能比。
性能指标自动减薄机
GR-6110
最大加工物尺寸
Φ156mm
主轴
主轴数量
1
输出功率
7.5KW
转速
1000-6000rpm
Z轴
行程
120mm
进给速度
0.00001~0.08mm/s
最大返回速度
50mm/s
分辨率
0.1pm
承片台数量
4 (可定制)
工作台转速
0-20rpm
减薄精度
片内厚度偏差
<5μm
片间厚度偏差
<±5μm
表面粗糙度Ra
<0.2μm (2000#Grinding wheel, Si)
测量仪
测量范围
不适用
分辨率
重复精度
其他规格
夕卜形尺寸(WxDxH)
750mmx1350mmx1750mm
设备重量
≈2000 kg
